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室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征
?范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產品特?
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；
• 閉環定位精度優于 1nm；
• 最?負載 500 g；
• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案；
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級
可選版本 ? | 正常版本 |
.NM 絕對?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | |
1 底?尺?*?度 | 180 mm × 150 mm × 20 mm |
2 主體材料 | 鋁合? |
3 中空透孔 | 80 mm × 60 mm |
4 運動?程 | 200 um × 200 um |
5 閉環分辨率 | 優于1nm |
6 推薦最?負載 | 500 g |
7 閉環傳感器 | 電容式 |
8 電容精度 | 0.3 nm |
9 壓電電容(X, Y) | 6.5 uF |
15 到 40 攝?度 | |
10 推薦使?溫度 | |
11 質量 | 1 kg |
12 安裝 | 螺紋孔?動兼容 Carrier.L7550.XY |
